| Tamaño de la zona de trabajo (D*H mm) | Φ200*300 | Φ300*600 | Φ400*900 |
|---|---|---|---|
| El vacío final (Pa) | 1*10-4 años/ 1 * 10- ¿ Qué pasa? | 1*10-4 años/ 1 * 10- ¿ Qué pasa? | 1*10-4 años/ 1 * 10- ¿ Qué pasa? |
| Temperatura máxima (°C) | 2400 / 2500 | 2400 / 2500 | 2400 / 2500 |
| Uniformidad de temperatura (°C) | ± 7 años5 | ± 7 años5 | ± 10 |
| Tasa de aumento de la presión (Pa/h) | 0.67 | 0.67 | 0.67 |